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產品簡介
半導體/FPD檢測顯微鏡采用易用設計，能夠提供 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質觀察。該產品采用靈活的模塊設計，能夠提供適用于多種檢查用途的觀察系統(tǒng)。通過與 Stream 圖像分析軟件結合，從觀察到報告生成在內的整體檢查過程都變得簡單而流暢。
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半導體/FPD檢測顯微鏡包括半導體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個電子制造業(yè)的發(fā)展。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡光學性能、適合大樣品的檢測、人體工學設計等諸多優(yōu)點將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
半導體/FPD檢測顯微鏡
新MX63/MX63L顯微鏡支持奧林巴斯MIX照明功能的產品，由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用。在很多應用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。
長壽命高強度白色LED照明：
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的特點，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質量和準確的色彩復現(xiàn)提供了保障。
功能性：適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于晶圓直徑200mm，MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機，實現(xiàn)可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進行檢測。
模塊化：全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設計讓檢測者能夠根據應用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室所有電動組件均安裝在屏蔽結構內，鏡架、鏡筒以及其他部件均經過防靜電處理。
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